真空蒸着とは? 真空蒸着とは、高真空状態にした大きなチャンバー(窯)の中で、金属(金や銀、アルミニウムなど)や酸化物(SiO2等)を加熱・蒸発させることで基盤表面にデポジション(堆積)させ、薄膜を形成加工する技術です。蒸 … 続きを読む 真空蒸着ー基礎中の基礎を解説します。