薄膜加工技術

微細なパターン加工

光学薄膜×メタライズパターン

近年のセンサーデバイスやフォトニクス製品の高度化に伴い、導電性パターンと光学機能を一体化した薄膜構造へのニーズが高まっています。安達新産業では、メタライズ(金属配線)パターン加工技術に、高機能な光学薄膜加工技術かけ合わせた製品づくりが可能です。メタライズパターンと光学薄膜を組み合わせることにより、光と電気を一体で活用できる「機能融合型デバイス」の実現が可能になります。これからのスマートセンシング・IoTデバイス・バイオ分析・環境センシングといった分野で重要な差別化技術となると考え、日々開発を継続しています。

高機能デバイスを支える複合薄膜加工のご提案

光学薄膜との組み合わせ例

メタルパターン加工後、光学薄膜を組み合わせることで、デバイスの新たな機能を引き出すことができます。

📌例1:電極付きバンドパスフィルター構造
中心波長を制御した干渉膜構成、金属電極付きで、透過光の変化に応じた電気信号読み取りが可能
  👉ガスセンサーや光検出素子に応用

📌例2:反射防止膜+電極構造(AR電極)
測定光の入射ロスを抑えながら、電気接点としての機能も確保
  👉フォトダイオードや分光分析用の光センサーチップに応用

📌 例3:ミラー膜+メタルパターン構造
誘電体ミラーの上に微細な金属パターンを配置
  👉微小光学系、MEMSミラーや光学MEMS素子などへの展開が可能

メタライズパターン×光学薄膜の想定されるメリットは?

①光と電気の“同時制御”が可能に
光学薄膜で特定の波長の光を透過/反射/吸収しながら、メタル配線でその変化を電気的に検出(例:バンドパスフィルターの透過光に反応する光センサー電極など)
👉光と電気の融合により、より高機能なセンサー・測定素子の設計が可能

②多機能化と部品点数の削減
1枚のチップ上に、光学機能と電気機能を同時に実装(例:反射防止膜付きの導電パターン構造)
👉部品を別々に組み合わせる必要がなくなり、装置の小型化・軽量化にもつながる

③ センサー感度や検出精度の向上
光の入射・透過特性を最適化することで、測定対象の信号が強調され、電極との組み合わせで、微弱な変化をより高精度に検出できる
👉バイオセンサーやガスセンサーなどで、わずかな吸着や反応の変化を捉えることが可能

④ 設計自由度の向上とカスタマイズ対応
光学特性(透過率や反射率、波長選択性)と配線パターンを組み合わせて、目的に応じたデバイス設計が可能(例:特定波長だけを通す構造+検出用電極など)
👉専用機器向けのオーダーメイド設計・試作に最適

⑤MEMSやフォトニクスデバイスとの親和性
ミラーや導波路など、光を操作する微細構造と金属配線の集積が可能。フレキシブル基板や薄型デバイスとも相性が良い。
👉次世代光学MEMS、AR/VR、ウェアラブル光センサーの基盤技術として期待

応用可能な分野と今後の展望

光学薄膜×メタライズパターン加工のような複合薄膜構造は、光と電気の両面で高感度・高機能な薄膜デバイスへの応用がさらに広がっていくと考えられます。

✅光学センサー/バイオセンサー
✅フォトニック素子/導波路型センサー
✅薄膜太陽電池/光電変換素子
✅次世代ディスプレイ・ARデバイス
✅微小流路一体型センサー(Lab-on-a-Chip)

安達新産業の強み

当社では、電極パターン設計〜光学膜の多層成膜〜チップ加工まで一貫対応可能です。複合薄膜の設計・試作や、少量ロットからの試作対応にも柔軟に対応いたします。

✨ご相談例✨
光を透過させる電極チップを作りたい
バイオセンサーで使える光学フィルター付き電極チップを評価したい。

光と電気を融合するデバイスづくりは、ぜひ安達新産業にご相談ください。最適な膜構成と加工方法をご提案いたします。

ご提案ラインナップ

最適な光学特性や、加工方法をご提案いたします