匠の紫外線
AR(反射防止膜)
紫外線反射防止膜(AR) 波長:248nm
- 深紫外線(UV-C)領域の反射を抑えたいですが、可能ですか?
- UV領域は膜厚が薄く、制御が非常に難しいと聞いたけど対応できますか?
- 限られた基板、成膜材料でしか対応が出来ないなかで、反射防止可能でしょうか?
- 成膜後の測定難易度が高いと聞いているが対応可能ですか?
解決!「紫外線反射防止膜(AR) 波長:248nm」のチャート
匠のポイント
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優れた紫外線透過性
多層の誘電体膜を成膜することにより、
基板表裏面による光の反射を防止します。可視光での実績に基づき、紫外線の波長帯域(248nm)においても、
成膜時の制御を行うことで高い透過率を実現できます。但し、成膜可能な基板が限定されますので、
事前に確認が必要となります。ご利用される基板の特性を利用し、
設計を行う事で最適なフィルターを実現致します。 -
ご要望の波長帯での設計・カスタマイズが可能
ご利用予定の光源(エキシマレーザやUVLED)に合せた対応が可能です。
ご希望の入射角度に合わせカスタマイズした干渉フィルターでの
設計・成膜を実施することで、高性能な特性を有する反射防止膜の成膜が可能です。基板の特性並びにお客様の要望に合わせた設計を行いますので、
お問い合わせ時にお伝え下さい。 -
部品対応も可能
基板調達から成膜まで可能です。任意の形状にカットし、
部品化して出荷することも可能です。但し、詳細図面などを頂く必要があります。 -
測定器
出荷時には必ず測定チャートを添付致しますので、ご安心ください。
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クリーンルーム対応
作業環境は成膜から検査までそれぞれ必要なクリーン度を維持したクリーンルーム内作業となっており、
微少膜欠陥(膜中異物等)に対しても万全の体制をとっております。
用途例
- 測定器
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分光光度計、原子吸光光度計、半導体膜厚測定装置、共焦点顕微鏡
DNAシーケンス、フローサイトメトリー、紫外線異物検知 - 医療
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抗ウイルス・除菌用紫外線照射装置、眼球の研磨・矯正、
血管の血栓除去、皮膚表面のシミ取り機器用途 - 微細加工
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リフトオフ装置(半導体露光用)、表面改質、親水化処理処理(濡れ性向上)、
レーザ加工装置(液晶パネルのアニーリング工程)、インクジェット式プリンター、
ウェーハ洗浄、UV硬化装置(光学部品等の接着、液晶パネル周辺の接着) - 殺菌処理
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医療用、飲食用、オゾン発生効果