問題解決

パターン加工、微細な配線

SPRバイオセンサーチップ

  • SPRバイオセンサー(表面プラズモン共鳴チップ)

    センサーチップ上のチップ上の屈折率変化に応じ、反射光強度が変化することにより、物質の吸着挙動をリアルタイム解析が可能なSPRバイオセンサーです。製品は全てオーダメイドです。
    薄膜加工、チップ加工まで一貫した体制から請け負います!!

匠のポイント

薄膜成膜加工技術

真空蒸着・スパッタリング加工を用いて、多様な金属や誘電体での成膜が可能です。
基板についても、実績種類は豊富です。最適な薄膜構成をご提案致します。

膜厚の高精度管理 50nm±5%以内
金属/合金単層膜 Au/Cr、Ag/Cr、SiO2/Ag/Cr,Ti/Pt/Au等
誘電体膜 各種金属酸化物、窒化物、絶縁膜等
対応基板 各種ガラス、樹脂、フィルム、 各種ウェハー(Si、SiC、Ge、GaN等)
ワークサイズ 150mmまで対応可能です。
基板調達から成膜まで一貫生産が可能です。

安達新産業では、基板の調達から成膜加工、微細加工、チップ加工まで
一貫してオーダメイドで対応可能です。
任意の形状にカットし部品化して出荷することも可能です。
但し、詳細図面などを頂く必要があります。

クリーンルーム対応です。

作業環境は成膜から検査までそれぞれ必要なクリーン度を維持したクリーンルーム内作業となっており、
微少膜欠陥(膜中異物等)に対しても万全の体制をとっております。

少量試作も可能です。

ものづくりにおいては、仮説~検証のサイクルは必須工程です。
どれだけシミュレーション技術が発達したとしても、検証は省くことが出来ません。

安達新産業では、特性検証のための試作は喜んで請け負います。
まずはお問い合わせください。

最適な光学特性や、加工方法をご提案いたします