くし形電極チップ

高感度な電気的検出を実現できる重要技術です。

くし形電極とは、複数の細長い電極が櫛（くし）の歯のように交互に並んだ構造を持つ電極のことを指します。英語では「Interdigitated Electrode（IDE）」とも呼ばれ、マイクロメートル〜ミリメートルスケールでのパターン設計が可能です。微小な電極を2つ対向させて配置したもので、電極間の電場分布が制御しやすく、微小な信号や反応を高感度に捉えられる点が大きな特徴です。そのため、非常に小さな変化を検出したい用途に適しています。主に生体信号の測定や刺激に使用される医療用電極として知られていますが、他の用途にも広く使用されています。構成材料は金や白金などの導電性金属が一般的ですが、用途によってITOやカーボン、銀ペーストなども使用されます。※クシ形電極の基礎を解説！もあわせてご覧ください。

オーダーメイド対応！薄膜～パターン加工による「くし型電極チップ」

安達新産業では、各種金属を用いた薄膜形成から微細パターン加工まで、一貫体制で製作するくし型電極チップをご提供しています。製品はすべてお客様の仕様に応じたオーダーメイド対応。図面作成から電極設計、薄膜成膜、チップ加工までワンストップで承ります。各種金属を薄膜〜パターン加工した「くし型電極チップ」です。※開発のスピード化に対応するため標準在庫品も準備しています。こちらからお求めください。

匠のポイント

クシ形電極を支える薄膜成膜加工技術

安達新産業では、真空蒸着およびスパッタリング加工を用いた薄膜成膜技術により、金・アルミ・クロム・白金などの金属膜はもちろん、SiO₂やTiO₂などの誘電体膜にも幅広く対応しています。対応基板も、ガラス、セラミックス、半導体基板（Si、SiC）、金属板など多様な材料で実績多数。用途や目的に応じて、最適な膜構成や成膜条件をご提案いたします。

金属/合金単層膜	Au、Ag、Pt、Cu、Ti、Cr、Ni、Al、DLC、ITO、その他金属、合金等
誘電体膜	各種金属酸化物、窒化物、絶縁膜等
対応基板	各種ガラス、樹脂、フィルム、各種ウェハー(Si、SiC、Ge、GaN等)
ワークサイズ	150mmまで対応可能です。

電極の微細パターン加工

加工精度
電極線幅	数μm、電極間隔:数μm　膜厚:数十nm〜数μm程度

フォトリソグラフィ・エッチング・メタルマスクなどを駆使し、安達新産業では多様な薄膜パターン形成に対応しています。光学部品やセンサー構造、電極形成など、微細なパターン加工を必要とするお客様の仕様に対し、最適な加工方法・レジスト材料を選定し、ご提案から製作まで一貫対応いたします。※メタルマスクとフォトマスクの違い

現時点での加工実績としては、ライン＆スペース（L/S）で5μm程度までの微細パターニングを安定的に対応しております。薄膜材料の種類や膜厚、基板表面の性質などに応じて、プロセス条件を細かく最適化しています。

膜構成とのトータル最適化が重要です。

フォトリソやエッチングの成功には、成膜材料・膜厚・積層構成・基板の材質や表面状態との整合性が不可欠です。事前の条件すり合わせや少量試作を通じて、膜とパターンが調和する仕様をご提案いたします。

万全の品質保証体制

基板調達から成膜・微細加工までの一貫対応に加え、ご要望の形状へのカット・部品化にも対応可能です。形状指定の場合は、詳細図面のご提供をお願いしております。また、成膜から検査・梱包まで、すべての工程を必要なクリーン度を維持したクリーンルーム内で実施。膜中異物や微少欠陥への対策も万全です。すべての製品に対し、検査表を添付して出荷いたしますので、安心してご利用いただけます。

用途例

◆ 医療・ライフサイエンス
✅神経活動の測定：脳波や筋電図など、生体電気信号の取得に使用。
✅バイオセンサー：糖やタンパク質、ウイルスなどの検出用センサーとして。

◆ 環境・産業分野
✅ガスセンサー：大気中のNOxやVOC（揮発性有機化合物）の検出。
✅水質センサー：pH、導電率、重金属の濃度測定に応用。
✅化学センサー：材料研究における化学反応のモニタリング。

◆ エネルギー・材料分野
✅燃料電池や電池の評価：電極反応や電解質の挙動をモニタリング。
✅材料劣化の診断：表面導電性の変化を計測し、腐食や変質を検出。

◆半導体分野
✅マイグレーション評価チップ：配線材料の劣化挙動を調べるためのテストパターン
✅表面導電性／絶縁性評価：半導体材料や新素材の表面・界面の導電特性を評価

今後の展望として、パワー半導体材料（SiCやGaN）の評価用構造として、くし形電極のニーズが拡大しています。また、フレキシブル基板やバイオCMOSセンサーへの組み込みにより、ウェアラブル半導体デバイスのキー構造としても注目されています。安達新産業では、金属薄膜成膜から電気化学分析チップ、マイグレーション試験用チップ製作まで一貫対応しています。お気軽に問合せ下さい。